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专利状态
一种超薄薄膜镀膜用的蒸发源机构及镀膜设备和镀膜方法
有效
专利申请进度
申请
2022-10-19
申请公布
2022-12-09
授权
2023-06-09
预估到期
2042-10-19
专利基础信息
申请号 CN202211278339.9 申请日 2022-10-19
申请公布号 CN115449751A 申请公布日 2022-12-09
授权公布号 CN115449751B 授权公告日 2023-06-09
分类号 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面)
专利法律状态
  • 2023-06-09
    授权
    状态信息
    授权
  • 2022-12-27
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/14;申请日:20221019
  • 2022-12-09
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开一种超薄薄膜镀膜用的蒸发源机构及镀膜设备和镀膜方法,蒸发源机构包括坩埚、陶瓷组件、感应线圈、冷却铜块和金属丝送丝组件,坩埚设有一端开口的熔池,开口处设有冷却铜块,冷却铜块设有通孔,坩埚外周设有陶瓷组件,陶瓷组件外周设有感应线圈,感应线圈和冷却铜块连接并组成加热组件;镀膜设备中设有上述蒸发源机构,其镀膜方法是基材进行至少一次“第一面磁控溅射镀膜‑第一面蒸发镀膜‑第二面磁控溅射镀膜‑第二面蒸发镀膜”的双面交替镀膜和冷却;第一面磁控溅射镀膜和第一面蒸发镀膜在第一镀膜辊外侧完成,第二面磁控溅射镀膜和第二面蒸发镀膜在第二镀膜辊外侧完成。本发明可避免超薄薄膜因表面热量过高而产生褶皱变形等现象。