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专利状态
环保铝镜真空镀膜设备
有效
专利申请进度
申请
2015-11-17
申请公布
2016-01-20
授权
2018-08-28
预估到期
2035-11-17
专利基础信息
申请号 CN201510789299.8 申请日 2015-11-17
申请公布号 CN105256284A 申请公布日 2016-01-20
授权公布号 CN105256284B 授权公告日 2018-08-28
分类号 C23C14/56;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州大道
专利法律状态
  • 2018-08-28
    授权
    状态信息
    授权
  • 2016-02-17
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20151117
  • 2016-01-20
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明公开一种环保铝镜真空镀膜设备,包括依次连接的进片台、多个真空室和出片台,多个真空室包括依次连接的前粗抽室、前精抽室、清洗室、第一过渡室、第一镀膜室、第二过渡室、第二镀膜室、后精抽室和后粗抽室,进片台上、各个真空室内和出片台上通过传动辊进行工件输送;清洗室内设置中频离子源组件,第一镀膜室内和第二镀膜室内均设置高效溅射旋转靶组件。本环保铝镜真空镀膜设备采用中频离子源对玻璃工件进行清洗,可有效去除传统工艺无法去除的有机物,提高铝膜在玻璃表面的附着力,提高铝镜的反射率。其旋转靶采用带有5路磁铁的高效溅射旋转靶,可达到提高靶材的利用率,同时使设备结构得到简化,降低设备成本和产品加工成本。