一种双末端机械手的晶圆纠偏系统及方法

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专利状态

一种双末端机械手的晶圆纠偏系统及方法

有效

专利申请进度

申请

2022-06-21

申请公布

2022-10-11

授权

2023-03-21

预估到期

2042-06-21

专利基础信息

申请号	CN202210703600.9	申请日	2022-06-21
申请公布号	CN115167198A	申请公布日	2022-10-11
授权公布号	CN115167198B	授权公告日	2023-03-21
分类号	G05B19/042;H01L21/687;H01L21/68
分类	控制；调节;
申请人名称	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请人地址	辽宁省沈阳市浑南区飞云路15-1号

专利法律状态

2023-11-24

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):G05B 19/042；专利号:ZL2022107036009；登记生效日:20231107；变更事项:专利权人；变更前权利人:沈阳新松机器人自动化股份有限公司；变更后权利人:沈阳新松半导体设备有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号；变更后权利人:110169 辽宁省沈阳市浑南区飞云路15-1号
2023-03-21

授权

状态信息

授权
2022-10-28

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G05B19/042；申请日:20220621
2022-10-11

公布

状态信息

公布

摘要

本发明属于半导体制造领域，具体说是一种双末端机械手的晶圆纠偏系统及方法，包括：主控制器、手操器、IO板、驱动器以及纠偏传感器；主控制器，用于接收手操器获取到的纠偏配置数据，并通过总线发出纠偏配置数据到IO板；主控制器还接收驱动器读取到的晶圆位置数据，并根据晶圆位置数据获取晶圆的实际位置，计算偏差值；IO板，用于接收主控制器发送的纠偏配置数据，同时，采集纠偏传感器对应的IO点的状态，并进行判断，若发生变化，生成双末端机械手的位置锁存信号发送至驱动器对应的输入通道。本发明解决了双末端机械手两个末端晶圆位置数据混淆的问题，实现双末端机械手晶圆纠偏，提高晶圆传输效率和位置准确度。

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