首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
可自停止抛光的MRAM器件的制作方法与MRAM器件
有效
专利申请进度
申请
2017-12-28
申请公布
2019-07-05
授权
2023-10-20
预估到期
2037-12-28
专利基础信息
申请号
CN201711462222.5
申请日
2017-12-28
申请公布号
CN109980081A
申请公布日
2019-07-05
授权公布号
CN109980081B
授权公告日
2023-10-20
分类号
H10N50/10;H10N50/01;H10N50/80;H10B61/00
分类
基本电气元件;
申请人名称
中电海康集团有限公司
申请人地址
浙江省杭州市余杭区文一西路1500号1幢311室
专利法律状态
2023-10-20
授权
状态信息
授权
2019-07-30
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L43/08;申请日:20171228
2019-07-05
公布
状态信息
公布
摘要
本申请提供了一种可自停止抛光的MRAM器件的制作方法与MRAM器件。该制作方法包括:步骤S1,在衬底的表面上依次叠置设置底电极层和MTJ结构层;步骤S2,去除部分的底电极层以及部分的MTJ结构层,形成底电极以及预MTJ单元;步骤S3,在步骤S2形成的结构的裸露表面上设置第一介电层;步骤S4,对预MTJ单元进行刻蚀,形成MTJ单元,且MTJ单元与第一介电层之间具有凹槽;步骤S5,在步骤S4形成的结构的裸露表面上依次设置抛光阻挡层与第二介电层;步骤S6,至少采用化学机械抛光法去除第一表面所在平面上的第二介电层以及抛光阻挡层,获得平整的表面。该制作方法提高了整片晶圆表面均一性。
更多专利
1
一种基于视觉的方向盘干预检测与统计方法
2
一种用于超宽带多区域室内定位的TDOA估算方法
3
一种金属铝的刻蚀方法
4
存储器的读电路与存储器
5
一种窨井盖溢水检测设备
6
轨道式PLC接口控制器
7
一种四足机器人运动控制系统
8
一种基于视频图像的眼动追踪方法和系统
9
一种基于测绘数据增强的驾培方法和装置
10
一种基于ZYNQ的图像传输系统及方法
11
一种基于不确定度提升激光测距精度的方法和系统
12
一种宽波段超低反射率的增透膜
13
一种智能汽车行车数据的记录与分析装置
14
MRAM器件的制备方法
15
一种自适应紫外杀菌控制装置
16
一种基于头戴式AR设备和操作手柄的机器人控制方法
17
一种基于STT-MRAM加速固态存储器件启动的方法
18
婴童看护仪(小鹿款)
19
磁性存储单元及磁性存储器
20
MRAM存储阵列
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部