一种偏压温度不稳定性测试装置

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专利状态

一种偏压温度不稳定性测试装置

有效

专利申请进度

申请

2022-11-11

授权

2023-05-23

预估到期

2032-11-11

专利基础信息

申请号	CN202223014655.3	申请日	2022-11-11
授权公布号	CN219065656U	授权公告日	2023-05-23
分类号	G01R31/26
分类	测量；测试;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号（高新区）

专利法律状态

2023-05-23

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种偏压温度不稳定性测试装置，包括处理器、测量单元、供电单元、驱动单元、总线接口和被测单元，通过驱动单元为被测功率管提供PWM信号，以实现被测功率管的栅极偏压可调节，通过被测单元为被测功率管提供运行温度，以实现被测功率管的运行温度可调节，因此，在不同的运行温度下，对被测功率管的栅极施加动态偏压，再通过SMU获取被测功率管在BTI测试过程中的测量参数，相比于提供静态电压，可以更完全的反应功率器件的阈值漂移特征，更准确的评估功率器件的可靠性。

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