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专利状态
一种偏压温度不稳定性测试装置
有效
专利申请进度
申请
2022-11-11
授权
2023-05-23
预估到期
2032-11-11
专利基础信息
申请号
CN202223014655.3
申请日
2022-11-11
授权公布号
CN219065656U
授权公告日
2023-05-23
分类号
G01R31/26
分类
测量;测试;
申请人名称
杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址
浙江省杭州市黄姑山路4号(高新区)
专利法律状态
2023-05-23
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供一种偏压温度不稳定性测试装置,包括处理器、测量单元、供电单元、驱动单元、总线接口和被测单元,通过驱动单元为被测功率管提供PWM信号,以实现被测功率管的栅极偏压可调节,通过被测单元为被测功率管提供运行温度,以实现被测功率管的运行温度可调节,因此,在不同的运行温度下,对被测功率管的栅极施加动态偏压,再通过SMU获取被测功率管在BTI测试过程中的测量参数,相比于提供静态电压,可以更完全的反应功率器件的阈值漂移特征,更准确的评估功率器件的可靠性。
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