MEMS扫描仪组件和电磁扫描模块

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专利状态

MEMS扫描仪组件和电磁扫描模块

有效

专利申请进度

申请

2022-11-18

授权

2023-03-24

预估到期

2032-11-18

专利基础信息

申请号	CN202223073228.2	申请日	2022-11-18
授权公布号	CN218728352U	授权公告日	2023-03-24
分类号	G02B26/10;G02B26/08
分类	光学;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2023-03-24

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种MEMS扫描仪组件和电磁扫描模块，该MEMS扫描仪组件包括：MEMS扫描仪，MEMS扫描仪具有边框以及位于边框中的反射镜，反射镜通过扭转梁与边框连接；电路板，位于MEMS扫描仪下方与MEMS扫描仪相连；其中，电路板设置有开口，开口的位置与反射镜相对应，反射镜在开口中扭转。MEMS扫描仪与电路板形成组合体，可以显著增强MEMS扫描仪的结构强度，减小其在夹持和移动过程中损坏的风险，并可对MEMS扫描仪进行单独测试。

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