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专利状态

振动膜及MEMS器件

有效

专利申请进度

申请

2021-01-22

授权

2021-10-26

预估到期

2031-01-22

专利基础信息

申请号	CN202120192938.3	申请日	2021-01-22
授权公布号	CN214507383U	授权公告日	2021-10-26
分类号	H04R19/04;H04R7/08
分类	电通信技术;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2021-10-26

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种振动膜及MEMS器件，振动膜具有贯穿振动膜本体的若干泄气孔，所述泄气孔均包含多个线形泄气区域，且多个所述线形泄气区域呈旋转对称，所述泄气孔为旋转对称图形。本实用新型中的泄气孔开合的大小会跟随激励信号的大小进行调节，在大的激励信号作用下，泄气孔开合变大，相当于增大了泄气孔的面积，调节了振动膜的受力情况，调整振动膜的频响，保护大激励信号下的振动膜，防止振动膜破裂，提高了MEMS器件的极限声压。

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