超声波换能器、超声波指纹传感器及其制造方法

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

超声波换能器、超声波指纹传感器及其制造方法

有效

专利申请进度

申请

2017-04-14

申请公布

2017-09-26

授权

2022-07-29

预估到期

2037-04-14

专利基础信息

申请号	CN201710246019.8	申请日	2017-04-14
申请公布号	CN107199169A	申请公布日	2017-09-26
授权公布号	CN107199169B	授权公告日	2022-07-29
分类号	B06B1/06;G06V40/13
分类	一般机械振动的发生或传递;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2022-07-29

授权

状态信息

授权
2017-09-26

公布

状态信息

公布

摘要

本申请公开了超声波换能器、超声波指纹传感器及其制造方法。所述方法包括：形成CMOS电路；以及在所述CMOS电路上形成超声波换能器。在该方法中，形成超声波换能器的步骤包括：形成牺牲层；图案化牺牲层；在所述牺牲层上形成掩模层，所述掩模层覆盖和围绕所述牺牲层；在所述掩模层上形成到达所述牺牲层的开口；经由所述开口进行气相蚀刻，从而去除所述牺牲层形成空腔，以及在所述掩模层上形成压电叠层。该方法利用图案化牺牲层形成空腔，从而可以降低制造成本以及提高传感器的性能。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信