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专利状态
一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2021-07-05
申请公布
2021-11-05
授权
2023-12-01
预估到期
2041-07-05
专利基础信息
申请号 CN202110757584.7 申请日 2021-07-05
申请公布号 CN113604778A 申请公布日 2021-11-05
授权公布号 CN113604778B 授权公告日 2023-12-01
分类号 C23C14/08;C23C14/34;H01L31/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2023-12-01
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-11-23
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/08;申请日:20210705
  • 2021-11-05
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法,包括以下步骤:将锌盐和铝盐加入到第一溶剂中,分散均匀,配制成第一溶液;将草酸加入到第二溶剂中,分散均匀,配制成第二溶液;将第二溶液加入到第一溶液中,在水浴下混合均匀,得到浆料,在常温下挥发去除溶剂,静置,干燥,烧结,得到前驱体粉末;将前驱体粉末加入到去离子水中,分散均匀,置于超声波处理器中,超声处理,干燥,得到氧化锌铝粉体;将氧化锌铝粉末压制成型,得到坯块;将坯块烧结,得到靶材。由本发明所述的AZO靶材制备得到的薄膜应用于太阳能电池,具有良好的开路电压与短路电流,能够有效提高太阳能电池的光电转化效率。