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专利状态

一种平面靶材压制装置

有效

专利申请进度

申请

2021-06-30

授权

2022-11-04

预估到期

2031-06-30

专利基础信息

申请号	CN202121491296.3	申请日	2021-06-30
授权公布号	CN217729750U	授权公告日	2022-11-04
分类号	B30B9/00;B30B15/00;B30B15/06;C23C14/35;C23C14/34
分类	压力机;
申请人名称	广州市尤特新材料有限公司
申请人地址	广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

专利法律状态

2022-11-04

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种平面靶材压制装置。提供一种平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置，在对平面靶材进行压制时，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。

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