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专利状态
一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2023-01-06
申请公布
2023-03-14
授权
2023-04-25
预估到期
2043-01-06
专利基础信息
申请号 CN202310016256.0 申请日 2023-01-06
申请公布号 CN115786860A 申请公布日 2023-03-14
授权公布号 CN115786860B 授权公告日 2023-04-25
分类号 C23C14/34;C22C5/02
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2023-04-25
    授权
    状态信息
    授权
  • 2023-03-14
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种粉红色薄膜用靶材的制备方法,包括以下步骤:步骤一:将原料Au 80‑100份、Pd 0.5‑0.9份、Cu 0.1‑0.3份、晶粒调控剂0.1‑0.2份依次加入到电阻炉中进行熔炼处理,熔炼至完全,保温采用超声处理,处理结束,再自然冷却定型得到靶材初料。本发明制备的薄膜色泽均匀、密度优异的靶材;晶粒调控剂采用B、Ti为原料,能够起到合金在熔炼烧结中细化晶粒,而加入的Ce、La稀土元素,促进B、Ti融入到产品原料中,从而加强晶粒细化效果;再经过热煅、冷煅交替后,产品晶粒调控剂被促活,从而再制备靶材中,进一步提高产品的色泽均匀性等性能。