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专利状态
具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置
有效
专利申请进度
申请
2021-05-31
授权
2021-11-26
预估到期
2031-05-31
专利基础信息
申请号 CN202121204118.8 申请日 2021-05-31
授权公布号 CN214881800U 授权公告日 2021-11-26
分类号 C23C14/35;B22D19/04
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2021-11-26
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置,其具有硬质波纹片,环状靶管套在背管外的状态下,所述硬质波纹片能以同时接触背管外壁和靶管内壁的方式设在背管与靶管之间的间隙内。该具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置自下而上地注入铟液,且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙,利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面,除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物),提升铟与靶材/背管的贴合率。