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专利状态
弧面挡尘工装、应用该挡尘工装的旋转靶材热喷涂装置
有效
专利申请进度
申请
2021-06-30
授权
2021-12-10
预估到期
2031-06-30
专利基础信息
申请号
CN202121488521.8
申请日
2021-06-30
授权公布号
CN215103478U
授权公告日
2021-12-10
分类号
C23C4/129
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2021-12-10
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及靶材制备技术领域,特别涉及一种弧面挡尘工装、应用该挡尘工装的旋转靶材热喷涂装置。旋转靶材热喷涂装置包括靶材安装位、同侧设置的出气口和弧面挡尘工装,该弧面挡尘工装的弧形挡板内表面正对靶材安装位。弧面挡尘工装,包括支撑杆以及装在支撑杆末端的安装座和弧形挡板,挡板的内表面连接安装座,挡板的外表面为外凸的弧面,挡板有多个,这些挡板依次绕安装座设置从而形成以安装座为中心的挡尘弧面,这些安装座和挡板以能够微调相对位置的方式装在支撑杆末端,以使挡板外表面到支撑杆的距离能够在挡尘之前微调,使用本工装,喷涂时靶材两端位置被挡住而减少灰尘,减少靶材端部开裂或致密性差等异常,且操作简单,便于安装调节。
更多专利
1
防开裂的旋转靶材总成
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10
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12
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13
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15
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16
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17
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18
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