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专利状态
一种热喷涂旋转靶材设备工装
有效
专利申请进度
申请
2018-05-11
申请公布
2018-09-25
授权
2020-01-07
预估到期
2038-05-11
专利基础信息
申请号 CN201810447753.5 申请日 2018-05-11
申请公布号 CN108570637A 申请公布日 2018-09-25
授权公布号 CN108570637B 授权公告日 2020-01-07
分类号 C23C4/12
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2020-01-07
    授权
    状态信息
    授权
  • 2018-10-26
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 4/12
  • 2018-09-25
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明提供一种热喷涂旋转靶材设备工装,其特征在于,包括驱动装置、冷却装置、尾座、从动端锁紧装置和承重平台,所述冷却装置包括用于定位靶材第一端的主动端组件和用于定位所述靶材第二端的从动端组件,所述主动端组件固定在所述承重平台台面上的一端,所述驱动装置与所述主动端组件相连接,所述尾座位于所述承重平台台面的另一端,所述从动端锁紧装置安装于所述承重平台并与所述尾座连接,所述尾座可在所述承重平台上移动,且所述尾座与所述从动端组件相连接。本发明通过设置从动端锁紧装置,保证尾座的稳定,减少喷涂过程中靶材的甩动,进而提高靶材的转速,提高生产效率。