首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
冷绑定式磁控溅射旋转靶材
有效
专利申请进度
申请
2021-06-02
授权
2021-11-26
预估到期
2031-06-02
专利基础信息
申请号
CN202121216787.7
申请日
2021-06-02
授权公布号
CN214881801U
授权公告日
2021-11-26
分类号
C23C14/35
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广州市尤特新材料有限公司
申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
2021-11-26
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种冷绑定式磁控溅射旋转靶材。该冷绑定式磁控溅射旋转靶材的多个弹性簧片分别装在背管外壁的多个卡槽内,弹性簧片凸出于卡槽外,靶管套装在装有弹性簧片的背管上的状态下,弹性簧片同时弹性抵紧靶管内壁和背管外壁以使靶管稳固地装到背管上。冷绑定式磁控溅射旋转靶材利用导电导热性良好的弹性簧片通过物理连接的方式将旋转靶材的背管和靶管安装在一起,弹性簧片与两者的接触面积大,旋转靶材整体具有良好的导电传热性能。
更多专利
1
一种油墨包装灌装系统
2
组合式玻璃基板
3
定位工装和平面靶材的烧结方法
4
一种发热浆料及其制备方法
5
棒料夹具
6
一种高烧结活性纳米氧化铟粉及其制备方法
7
用于靶材加工的周转架
8
一种平面靶材的成型装置
9
一种紫外光固化导电银浆、其制备方法及应用
10
一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用
11
靶材喷涂设备用除尘机构及靶材喷涂设备
12
热喷涂旋转靶材设备工装及其冷却装置
13
一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法
14
一种油墨自动上料装置和上料系统
15
一种UV快速固化温水快速水解胶及其制备方法
16
一种管状陶瓷靶材生坯加工夹具
17
一种电控变色玻璃用钨合金靶材及其制备方法
18
弧面挡尘工装、应用该挡尘工装的旋转靶材热喷涂装置
19
一种适用于管状旋转陶瓷靶材的承烧板
20
一种旋转氧化锆靶材及其制备方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部