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专利状态
一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用
有效
专利申请进度
申请
2022-12-26
申请公布
2023-01-31
授权
2023-04-18
预估到期
2042-12-26
专利基础信息
申请号 CN202211672781.X 申请日 2022-12-26
申请公布号 CN115652244A 申请公布日 2023-01-31
授权公布号 CN115652244B 授权公告日 2023-04-18
分类号 C23C4/04;C23C4/134;C23C4/16;C23C14/34
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广州市尤特新材料有限公司
申请人地址 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
专利法律状态
  • 2023-04-18
    授权
    状态信息
    授权
  • 2023-01-31
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明涉及金属靶材技术领域,具体提供一种旋转硅磷合金靶材,其合金纯度大于99.9%,区别于传统的煅烧工艺,采用热喷涂的工艺技术,制备过程安全系数高,所制得合金靶材组织均匀,致密度高,具备优良的物理性能,在制备过程中添加改性剂,所制得的金属靶材导电性能显著提高,可应用在太阳能电池和半导体等领域。