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专利状态
一种防静电监测系统
有效
专利申请进度
申请
2019-12-27
授权
2020-12-04
预估到期
2029-12-27
专利基础信息
申请号 CN201922395117.5 申请日 2019-12-27
授权公布号 CN212083638U 授权公告日 2020-12-04
分类号 G01R31/58
分类 测量;测试;
申请人名称 江苏长电科技股份有限公司
申请人地址 江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号
专利法律状态
  • 2020-12-04
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及一种防静电监测系统,它包括第一线路(1)、第二线路(2)和接地线路(3),所述第一线路(1)上设置有切割电机(4)和第一电阻R1,所述第二线路(2)上设置有切割平台(5)和第二电阻R2,所述接地线路(3)上设置有接地电阻R,所述第一线路(1)和第二线路(2)相互并联后与接地线路(3)相串联。本实用新型能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控,一旦发生开路、短路等异常故障,可立即通知操作人员及时处理,避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产,对产品质量造成不良影响。