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专利状态

一种气动顶杆的载具结构

有效

专利申请进度

申请

2021-12-01

授权

2022-07-19

预估到期

2031-12-01

专利基础信息

申请号	CN202122984728.0	申请日	2021-12-01
授权公布号	CN217009146U	授权公告日	2022-07-19
分类号	H01L21/673;H01L21/687;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	江苏长电科技股份有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号

专利法律状态

2022-07-19

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种气动顶杆的载具结构，它包括载具主体（1），所述载具本体（1）内部设置有腔体（2），所述载具主体（1）正面向下开设有多个顶杆孔（3），所述顶杆孔（3）底部与腔体（2）相连通，所述顶杆孔（3）内穿装有顶杆（4），所述载具主体（1）一侧设置有进气孔（5），所述进气孔（5）与腔体（2）相连通。本实用新型在产品经过回流水洗后，通过对进气孔输送气体，当气体达到顶杆需求气压值时，顶杆将会带动基板顶起，使得基板背面的水渍通过排水槽排出，极大程度上降低基板背面的水渍残留。

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