用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统

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专利状态

用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统

有效

专利申请进度

申请

2018-01-18

授权

2018-08-28

预估到期

2028-01-18

专利基础信息

申请号	CN201820087571.7	申请日	2018-01-18
授权公布号	CN207781553U	授权公告日	2018-08-28
分类号	H01L21/67;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-08-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及硅片制备工艺转移过程中所用设备技术领域，尤其是一种用于硅片制绒工艺中防止机械手漏抓花篮的监控系统，机械手包括横梁及设置在横梁上的两个用于抓取花篮的夹臂，该监控系统包括控制器及对射式光电开关；对射式光电开关包括发射器和接收器，发射器和接收器分别安装在两个夹臂上，发射器和接收器相互正对设置；控制器分别与发射器、接收器及机械手信号连接，本实用新型通过将对射式光电开关安装在用于抓取花篮的夹臂上，从而进行实时监控，在机械手出现漏抓花篮时，对射式光电开关会反馈信号给控制器，并由控制器控制机械手停机，从而避免因机械手漏抓花篮所导致的压篮情况的发生，进而避免硅片的损坏。

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