改善PERC高效电池EL良率的工艺

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专利状态

改善PERC高效电池EL良率的工艺

有效

专利申请进度

申请

2017-06-20

申请公布

2017-11-07

授权

2019-09-03

预估到期

2037-06-20

专利基础信息

申请号	CN201710470049.7	申请日	2017-06-20
申请公布号	CN107331728A	申请公布日	2017-11-07
授权公布号	CN107331728B	授权公告日	2019-09-03
分类号	H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/049
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2019-09-03

授权

状态信息

授权
2017-12-01

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20170620
2017-11-07

公布

状态信息

公开

摘要

本发明涉及太阳能电池片制备技术领域，尤其是一种改善PERC高效电池EL良率的工艺，该工艺包括以下步骤：a、将炉管内的温度提升至800±200℃，然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除炉管内杂质物；b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气，将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应；c、将炉管内的温度降至500±200℃，通入氮气进行吹扫，将杂质氧化反应后的生成物吹除；d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理，本发明的改善PERC高效电池EL良率的工艺将沉淀在炉管里的杂质通过提升温度，通入氮气和氧气，将杂质氧化反应并吹除后，再进行退火处理，Voc和效率有所提升，EL无异常。

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