防掉片PECVD设备的自动上下料装置_专利查询-品牌网

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专利状态

防掉片PECVD设备的自动上下料装置

有效

专利申请进度

申请

2017-07-07

授权

2018-01-26

预估到期

2027-07-07

专利基础信息

申请号	CN201720823262.7	申请日	2017-07-07
授权公布号	CN206931580U	授权公告日	2018-01-26
分类号	H01L21/677;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-01-26

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，通过在每个桨位下方增加硅片防掉装置，减少掉片导致的破片情况，降低工艺异常频率，减少返工比例，方便后续碎片的清理，减少了掉片的数量。

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