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专利状态
石英舟传输系统
有效
专利申请进度
申请
2018-04-13
授权
2018-10-12
预估到期
2028-04-13
专利基础信息
申请号 CN201820534992.X 申请日 2018-04-13
授权公布号 CN207967028U 授权公告日 2018-10-12
分类号 H01L31/18;H01L21/677
分类 基本电气元件;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2018-10-12
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域,尤其是涉及一种石英舟传输系统,包括插片机、若干扩散炉、检测装置和机械手,所述机械手设置在所述插片机和若干所述扩散炉之间,所述机械手与所述扩散炉之间设置有第一缓存台和第二缓存台,所述检测装置与所述扩散炉相对应设置,所述检测装置包括滑台、检测单元和处理单元,本实用新型石英舟传输系统在使用时,通过在若干扩散炉与插片机之间设置机械手,来实现石英舟上料和下料自动化,同时检测装置的检测单元对扩散炉输入端的滑台上石英舟进行检测,降低了工作人员的劳动强度,降低了生产成本,同时提高了工作效率。