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专利状态

石英舟冷却柜

有效

专利申请进度

申请

2017-05-19

授权

2017-12-29

预估到期

2027-05-19

专利基础信息

申请号	CN201720567149.7	申请日	2017-05-19
授权公布号	CN206819974U	授权公告日	2017-12-29
分类号	H01L21/67;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2017-12-29

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种石英舟冷却柜，在使用前，在气管接口处接入氮气泵，将装满硅片的石英舟放置于冷却柜中的隔板上，关闭柜门后运行设备，风机启动，向进风腔室内吸风，进入进风腔室的气体经风机后进入存风腔室，存风腔室内的气流由吹风口进入冷却腔室，气流经过硅片，带走硅片热量，由顶部排风口排出；在进风口设有初效过滤，吹风口设有高效过滤，确保送风清洁。柜体装有压差表，用于观察冷却腔室内的压力，在冷却腔室负压时，向冷却腔室内充入氮气，使冷却腔室保持正压；本实用新型缩短了硅片降温时间，提供了硅片缓存空间，减少了硅片降温时所受的污染，减少了不良片的产生。

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