管P监测SPC的新型石墨舟结构

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专利状态

管P监测SPC的新型石墨舟结构

有效

专利申请进度

申请

2018-08-17

授权

2019-02-01

预估到期

2028-08-17

专利基础信息

申请号	CN201821339004.2	申请日	2018-08-17
授权公布号	CN208460783U	授权公告日	2019-02-01
分类号	H01L31/18;H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2019-02-01

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种管P监测SPC的新型石墨舟结构，包括若干舟片，所述舟片上设有多个硅片，所述舟片上至少设有一个检测孔，所述检测孔内嵌设有检测玻璃片，所述检测玻璃片反射率与所述硅片制绒面反射率相同。本实用新型提供的一种管P监测SPC的新型石墨舟结构，采用石墨舟舟片上设置检测玻璃片，测试SPC时可以测试检测玻璃片上氮化硅的镀膜厚度，避免取硅片测试，减少了大量的返工片，节约资源，降低生产成本。

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