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专利状态
管P监测SPC的新型石墨舟结构
有效
专利申请进度
申请
2018-08-17
授权
2019-02-01
预估到期
2028-08-17
专利基础信息
申请号
CN201821339004.2
申请日
2018-08-17
授权公布号
CN208460783U
授权公告日
2019-02-01
分类号
H01L31/18;H01L21/673
分类
基本电气元件;
申请人名称
常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址
江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
2019-02-01
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供一种管P监测SPC的新型石墨舟结构,包括若干舟片,所述舟片上设有多个硅片,所述舟片上至少设有一个检测孔,所述检测孔内嵌设有检测玻璃片,所述检测玻璃片反射率与所述硅片制绒面反射率相同。本实用新型提供的一种管P监测SPC的新型石墨舟结构,采用石墨舟舟片上设置检测玻璃片,测试SPC时可以测试检测玻璃片上氮化硅的镀膜厚度,避免取硅片测试,减少了大量的返工片,节约资源,降低生产成本。
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