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专利状态

高效电池退火工艺

有效

专利申请进度

申请

2018-06-15

申请公布

2018-11-23

授权

2021-09-14

预估到期

2038-06-15

专利基础信息

申请号	CN201810622327.0	申请日	2018-06-15
申请公布号	CN108878289A	申请公布日	2018-11-23
授权公布号	CN108878289B	授权公告日	2021-09-14
分类号	H01L21/324;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2021-09-14

授权

状态信息

授权
2018-12-18

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效
2018-11-23

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种高效电池退火工艺，通过对背钝化后的硅片进行升温烘干，通过负压通气，在步骤4)至6)中一直保持负压状态，将水汽彻底去除干净；通过梯度降温的方式，能够将硅片体内的杂质更充分地析出，减少缺陷与复合；本发明和不使用退火工艺对比，硅片背面无水汽残留，开压平均提高了11mV,电流平均提高了42mA，转换效率提高了0.55％。

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