管式PECVD石墨舟工艺点安装装置

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专利状态

管式PECVD石墨舟工艺点安装装置

有效

专利申请进度

申请

2016-06-27

申请公布

2016-09-07

授权

2018-01-02

预估到期

2036-06-27

专利基础信息

申请号	CN201610481163.5	申请日	2016-06-27
申请公布号	CN105932112A	申请公布日	2016-09-07
授权公布号	CN105932112B	授权公告日	2018-01-02
分类号	H01L31/18;H01L21/673;C23C16/458
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-01-02

授权

状态信息

授权
2016-10-05

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20160627
2016-09-07

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括石墨舟输送装置和工艺点压装装置，工艺点压装装置设置在石墨舟输送装置的正上方。本发明包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，在石墨舟固定夹具上安装固定好石墨舟后，使用移动装置将固定好的石墨舟移动到导向板的正下方，导向板通过升降装置下移到与石墨舟上表面接触，在导向板的导向套筒内放置工艺点，最后通过工艺点压点装置将工艺点安装在石墨舟的工艺孔内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。

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