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专利状态
一种管式PECVD电极导电装置
有效
专利申请进度
申请
2019-03-25
授权
2019-12-03
预估到期
2029-03-25
专利基础信息
申请号 CN201920385491.4 申请日 2019-03-25
授权公布号 CN209722297U 授权公告日 2019-12-03
分类号 C23C16/513;C23C16/458
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2019-12-03
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供了一种管式PECVD电极导电装置,包括炉管,炉管内具有电极装置和石墨舟,电极装置包括正极电极杆和负极电极杆,电极杆尾端连接有射频电源,炉管内固定有两根陶瓷管,每根陶瓷管的两端分别固定有导电铜圈,陶瓷管其中一侧端部的导电铜圈与正极电极杆线路连接,陶瓷管另一侧端部的导电铜圈与负极电极杆线路连接;同侧的两个导电铜圈之间连接具有导电铜杆;正极电极杆通过对应侧导电铜杆与导电铜圈线路连接;负极电极杆通过侧导电铜杆与导电铜圈线路连接。本实用新型结构设计合理,改变石墨舟与电极的接触部位和导电方式,使镀膜更为均匀,同时避免电极杆因长期使用发生形变而导致接触异常,并且无需关注石墨舟正反,便于产线上下舟。