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专利状态
源液进气恒压装置
有效
专利申请进度
申请
2018-07-18
授权
2019-02-01
预估到期
2028-07-18
专利基础信息
申请号 CN201821144422.6 申请日 2018-07-18
授权公布号 CN208460780U 授权公告日 2019-02-01
分类号 H01L31/18;H01L21/67;H01L21/223
分类 基本电气元件;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2019-02-01
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供了一种源液进气恒压装置,在原有的源液进气装置基础上,设计了可为主源瓶补液的副源瓶,可有效稳定源瓶内饱和蒸气压,精准控制通源量,同时源瓶更换方便,无需反复拆接主源瓶,减少源瓶接口处可能存在的漏气隐患。