防止传送轮交叉污染的硅片传送装置

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专利状态

防止传送轮交叉污染的硅片传送装置

有效

专利申请进度

申请

2018-01-19

授权

2018-08-28

预估到期

2028-01-19

专利基础信息

申请号	CN201820097204.5	申请日	2018-01-19
授权公布号	CN207774325U	授权公告日	2018-08-28
分类号	B65G49/07
分类	输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-08-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种防止传送轮交叉污染的硅片传送装置，包括安装在机架上相互平行的辊轮轴和压轮轴，辊轮轴上固定有实心辊轮，压轮轴上间距安装有若干个与实心辊轮同步旋转的压轮，所述的压轮与压轮轴间隙配合且轴向限位，所述实心辊轮和压轮的外周面均具有V形齿，所述压轮V形齿的齿尖对应于实心辊轮V形齿的齿槽。本实用新型通过对压轮与实心辊轮上下组合的改进，使得压轮与实心辊轮在不传送硅片时无接触，减少了磨损，即使硅片的一侧有药水污染，这种结构也不会让压轮与实心辊轮之间产生交叉污染，从而有助于提高硅片的优良率。

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