低压扩散中空尾排装置_专利查询-品牌网

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专利状态

低压扩散中空尾排装置

有效

专利申请进度

申请

2019-04-19

授权

2019-10-01

预估到期

2029-04-19

专利基础信息

申请号	CN201920541391.6	申请日	2019-04-19
授权公布号	CN209461481U	授权公告日	2019-10-01
分类号	H01L31/18;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2019-10-01

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种低压扩散中空尾排装置，包括管路连通在尾管后的废液收集瓶、曲径冷却瓶、高精过滤器、真空泵和排风口，高精过滤器与真空泵的连接管路之间还设有压力监控模块，尾管外周面还外包有中空石英管，中空石英管外部密封并具有气嘴，气嘴依次管路连通有冷却装置和气动阀，气动阀的进气端与冷却装置管路连通、出气端则与高精过滤器与压力监控模块之间的管路连通；气动阀电路连通有电磁阀和PLC控制器，并由PLC控制器和电磁阀控制开关。本实用新型结构设计合理，在尾管与中空石英管之间制造了中空隔热层，减少尾管与环境之间的热传导，减少偏磷酸淤积在尾管，提高工艺稳定性，维护量小，生产成本低。

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