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专利状态
自动测方阻设备
有效
专利申请进度
申请
2017-10-23
申请公布
2018-01-16
授权
2020-03-20
预估到期
2037-10-23
专利基础信息
申请号 CN201710994286.3 申请日 2017-10-23
申请公布号 CN107591342A 申请公布日 2018-01-16
授权公布号 CN107591342B 授权公告日 2020-03-20
分类号 H01L21/66
分类 基本电气元件;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2020-03-20
    授权
    状态信息
    授权
  • 2018-02-09
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66
  • 2018-01-16
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明涉及一种自动测方阻设备,通过控制部分控制上料区将装满硅片的花篮输送至下片区,下片区将花篮内的硅片逐一卸下并输送至第一缓存区,第一缓存区将硅片输送至校正区,校正区将硅片校正后输送至测试区进行方阻测试,通过方阻测试完成的硅片被输送至第二缓存区,通过控制部分控制,跟设定标准对比后通过分片区分片后,将超过设定标准上限和超过设定标准下限的硅片分出,仅将方阻测试结果在正常范围内的硅片输送至上片区,并通过上片区将硅片放置在花篮上,最终将装满硅片的花篮通过下料区输送出去;有效避免了人工取片与测片带来的污染、破片与划伤的问题;自动化测试硅片方阻,大大提高了测试效率,可完成批量检测。