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专利状态

硅片检测装置

有效

专利申请进度

申请

2017-04-14

申请公布

2017-06-23

授权

2023-06-20

预估到期

2037-04-14

专利基础信息

申请号	CN201710245602.7	申请日	2017-04-14
申请公布号	CN106887395A	申请公布日	2017-06-23
授权公布号	CN106887395B	授权公告日	2023-06-20
分类号	H01L21/66;H01L21/687
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2023-06-20

授权

状态信息

授权
2017-07-18

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/66；申请日:20170414
2017-06-23

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及太阳能电池片技术领域，尤其是一种硅片检测装置，包括支架，支架上设置有工作台，工作台的上表面通过转轴转动设置有平台，工作台的下表面设置有用于驱动平台转动的电机，平台的上表面设置有左固定板和右固定板，左固定板和右固定板的内侧面均设置有气囊，平台的下表面设置有气泵，气泵与气囊连通，本发明的硅片检测装置通过气囊夹持硅片的窄面，使得硅片不会因为夹持而受到损坏，不影响对硅片正面及背面的观察，通过电机带动平台转动的方式，实现无需人工翻转硅片，即可完成对硅片正面及背面的观察，大大提高检测效率，提高检测的准确率，降低误判率。

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