一种链式扩散工艺及链式扩散设备

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专利状态

一种链式扩散工艺及链式扩散设备

有效

专利申请进度

申请

2018-05-18

申请公布

2018-08-24

授权

2024-01-26

预估到期

2038-05-18

专利基础信息

申请号	CN201810478127.2	申请日	2018-05-18
申请公布号	CN108447949A	申请公布日	2018-08-24
授权公布号	CN108447949B	授权公告日	2024-01-26
分类号	H01L31/18;C30B31/06
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2024-01-26

授权

状态信息

授权
2018-10-02

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20180518
2018-08-24

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供的一种链式扩散工艺及链式扩散设备，解决链式扩散后得到的p‑n结表面磷浓度高、结深浅，表面少子复合几率增加、结区漏电严重的问题和硅片基体内存在的杂质容易形成符合中心，体内复合几率增加的问题，在太阳能电池片生产的扩散工序中，使p‑n结表面磷表面浓度降低，结深得到增加，减小表面少子复合和结区漏电情况，并对对硅片基体内杂质进行吸杂，降低体内复合几率。

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