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专利状态

太阳电池扩散源恒温装置

有效

专利申请进度

申请

2017-08-18

授权

2018-03-02

预估到期

2027-08-18

专利基础信息

申请号	CN201721045470.5	申请日	2017-08-18
授权公布号	CN207062427U	授权公告日	2018-03-02
分类号	C30B31/04;H01L31/18
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-03-02

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种太阳电池扩散源恒温装置，包括带有密封门的箱体，箱体内设有放置内装有三氯氧磷的源瓶的搁板，箱体通过管道连接有向箱体内通入冷却气体的压缩机，所述的源瓶上连接有向源瓶内通入高纯度氮气的氮气进气管和携带三氯氧磷蒸汽通入扩散炉的氮气出气管，所述的氮气进气管插入至源瓶底部，氮气出气管连接在源瓶顶部。本实用新型可为电池片的扩散处理提供源温稳定的反应气体，以确保电池片的方阻均匀性、方阻稳定性等指标均优于现行标准。

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