具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备

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专利状态

具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备

有效

专利申请进度

申请

2018-01-18

授权

2018-09-25

预估到期

2028-01-18

专利基础信息

申请号	CN201820087499.8	申请日	2018-01-18
授权公布号	CN207909842U	授权公告日	2018-09-25
分类号	H01L21/67;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2018-09-25

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，在抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与慢提槽之间均设置有清水槽，在挂钩进入每个工艺槽之后，增加一个洗钩动作，保持挂钩的清洁，避免了槽体与槽体之间因为挂钩传输引起的污染。本实用新型具有完善的工艺流程，工艺的严谨性，杜绝了因为挂钩问题引起的酸碱接触，污染槽体，在实际过程中做到真正意义上的酸碱隔离。

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