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专利状态

硅片翻转装置

有效

专利申请进度

申请

2017-03-20

申请公布

2017-06-13

授权

2023-08-08

预估到期

2037-03-20

专利基础信息

申请号	CN201710166701.6	申请日	2017-03-20
申请公布号	CN106847731A	申请公布日	2017-06-13
授权公布号	CN106847731B	授权公告日	2023-08-08
分类号	H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2023-08-08

授权

状态信息

授权
2017-07-07

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/67；申请日:20170320
2017-06-13

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片翻转装置，包括控制单元、颜色传感器和用于输送硅片的前端输送机构及后端输送机构，所述前端输送机构和后端输送机构沿硅片输送方向相互错开设置且首尾相连，本发明硅片翻转装置在使用时，将第一输送辊沿硅片输送方向设置成螺旋状机构，及第二输送辊沿硅片输送方向设置设与第一输送辊相对设置的螺旋状，并通过颜色传感器检测硅片色差，当色差在检测范围内，翻板将第一输送辊上的硅片输送至第二输送辊上，当色差超出检测范围时，推板翻转将硅片输送至第四输送辊上，其结构简单，能够快速将硅片翻转，便于维护，避免了现有硅片翻转机构结构复杂，维护不方便的问题。

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