一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置

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专利状态

一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置

有效

专利申请进度

申请

2022-07-22

申请公布

2022-09-30

授权

2023-03-24

预估到期

2042-07-22

专利基础信息

申请号	CN202210866228.3	申请日	2022-07-22
申请公布号	CN115126841A	申请公布日	2022-09-30
授权公布号	CN115126841B	授权公告日	2023-03-24
分类号	F16H37/12;F16H25/22;F16H25/20;F16H25/24;F16H7/08;H02K7/06;H02K7/10
分类	工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热;
申请人名称	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请人地址	辽宁省沈阳市浑南区飞云路15-1号

专利法律状态

2023-11-24

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):F16H 37/12；专利号:ZL2022108662283；登记生效日:20231107；变更事项:专利权人；变更前权利人:沈阳新松机器人自动化股份有限公司；变更后权利人:沈阳新松半导体设备有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号；变更后权利人:110169 辽宁省沈阳市浑南区飞云路15-1号
2023-03-24

授权

状态信息

授权
2022-10-25

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):F16H37/12；申请日:20220722
2022-09-30

公布

状态信息

公布

摘要

本发明属于真空机械手技术领域，具体地说是一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置，包括立柱上法兰及机械手主驱动部件，立柱上法兰与机械手主驱动部件之间通过波纹管连接，还包括动力输出组件及动力传动组件，动力输出组件及动力传动组件分别安装于立柱上法兰上，波纹管穿过动力输出组件，动力传动组件分别与动力输出组件及机械手主驱动部件连接，动力输出组件通过驱动动力传动组件动作、进而带动机械手主驱动部件升降。本发明可充分利用现有技术中的立柱上半部波纹管外侧的环形空闲区域，采用全新的动力输出结构，合理利用立柱内部有效空间，在总升降行程不变的情况下，可大幅度将立柱高度缩短。

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