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专利状态

MEMS麦克风

有效

专利申请进度

申请

2019-12-31

授权

2020-10-27

预估到期

2029-12-31

专利基础信息

申请号	CN201922501446.3	申请日	2019-12-31
授权公布号	CN211792036U	授权公告日	2020-10-27
分类号	H04R19/00;H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市黄姑山路4号

专利法律状态

2020-10-27

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风。MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；位于所述背极板电极和所述膜片第一表面之间的空腔；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，所述膜片的侧面连接所述膜片的第一表面和第二表面，所述膜片的周边部分的至少部分区域位于所述衬底上方，所述膜片与所述衬底之间具有间隔，所述声腔与所述空腔连通。本申请将声腔与空腔连通，极大的释放了膜片的应力，提高了膜片机械响应的灵敏度。

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