一种双弧面高温舟_专利查询-品牌网

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

一种双弧面高温舟

有效

专利申请进度

申请

2022-09-22

授权

2023-02-17

预估到期

2032-09-22

专利基础信息

申请号	CN202222517821.5	申请日	2022-09-22
授权公布号	CN218498035U	授权公告日	2023-02-17
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州银河电器有限公司
申请人地址	江苏省常州市高新技术产业开发区河海西路168号

专利法律状态

2023-02-17

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及晶圆盛放装置领域，具体涉及一种双弧面高温舟，包括舟体和防晃机构，舟体包括第一防粘工装舟、第二防粘工装舟和两个挡块，第二防粘工装舟贴合设置在第一防粘工装舟的顶部，防晃机构设在舟体的内部，防晃机构包括配重块和若干个限位组件，配重块插设在第一防粘工装舟的内部，若干个限位组件等间距设置在第二防粘工装舟的内圆外壁上，本实用新型涉及的一种双弧面高温舟，方便晶圆取放，提升扩散效率，同时能够防止晶圆与舟接触扩散时防粘，避免边缘缺口的产生，提升出片质量。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信