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专利状态

单晶硅炉传动装置

有效

专利申请进度

申请

2008-05-15

申请公布

2008-12-10

授权

2011-01-19

预估到期

2028-05-15

专利基础信息

申请号	CN200810111608.6	申请日	2008-05-15
申请公布号	CN101319408A	申请公布日	2008-12-10
授权公布号	CN101319408B	授权公告日	2011-01-19
分类号	C30B35/00
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市西城区德胜门外大街11号

专利法律状态

2011-01-19

授权

状态信息

授权
2009-02-25

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效
2008-12-10

公布

状态信息

公开

摘要

本发明属于一种单晶硅炉传动装置，该传动装置分为主轴升降装置和主轴旋转装置，主轴升降装置和主轴旋转装置并排设置，主轴旋转装置和主轴升降装置并排位于滑座上。本发明将主轴升降和旋转运行分离，能有效保持主轴平稳和密封运行，以大幅度提高硅籽晶的质量，还具有结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好的优点。

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