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专利状态

一种晶体预热装置

有效

专利申请进度

申请

2012-09-03

申请公布

2013-01-09

授权

2016-03-30

预估到期

2032-09-03

专利基础信息

申请号	CN201210322393.9	申请日	2012-09-03
申请公布号	CN102864490A	申请公布日	2013-01-09
授权公布号	CN102864490B	授权公告日	2016-03-30
分类号	C30B13/00
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2016-03-30

授权

状态信息

授权
2013-02-20

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):C30B 13/00申请日:20120903
2013-01-09

公布

状态信息

公开

摘要

本发明公开了一种晶体预热装置，涉及半导体材料加工领域，解决了现有预热装置操作不便、运动速度不够快、易出现重大损失的问题。晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元和驱动装置，加热单元与驱动装置的连接杆固定连接，驱动装置固定在区熔炉的炉膛法兰外侧，且连接杆穿过炉膛法兰，驱动装置通过连接杆驱动加热单元。

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