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专利状态
一种过滤器和单晶硅拉制系统
有效
专利申请进度
申请
2017-11-20
授权
2018-08-14
预估到期
2027-11-20
专利基础信息
申请号 CN201721558404.8 申请日 2017-11-20
授权公布号 CN207722517U 授权公告日 2018-08-14
分类号 B01D46/24;B01D46/00;C30B15/00;C30B29/06
分类 一般的物理或化学的方法或装置;
申请人名称 北京京运通科技股份有限公司
申请人地址 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号
专利法律状态
  • 2018-08-14
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,公开了一种过滤器和单晶硅拉制系统,以提高单晶硅的生产效率。过滤器包括具有进气口和出气口的壳体,以及设置于所述壳体内的过滤网,其中:所述过滤器还包括振动器,以及分别与所述振动器和所述过滤网连接的弹性连接件;所述振动器振动工作时,所述弹性连接件发生弹性形变并带动所述过滤网振动。采用该结构设计的过滤器,振动器振动工作时可以使残留的杂质从过滤网上脱落,从而减少了过滤器的清理时间,进而提高了单晶硅的生产效率。