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专利状态
多晶硅铸锭方法
有效
专利申请进度
申请
2012-01-17
申请公布
2013-07-17
授权
2015-07-08
预估到期
2032-01-17
专利基础信息
申请号
CN201210015367.1
申请日
2012-01-17
申请公布号
CN103205797A
申请公布日
2013-07-17
授权公布号
CN103205797B
授权公告日
2015-07-08
分类号
C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
分类
晶体生长〔3〕;
申请人名称
北京京运通科技股份有限公司
申请人地址
北京市通州区北京经济技术开发区经海四路158号
专利法律状态
2015-07-08
授权
状态信息
授权
2013-08-14
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):C30B 11/00申请日:20120117
2013-07-17
公布
状态信息
公开
摘要
本发明实施例公开了一种高效多晶硅铸锭方法,属于光伏技术领域。解决了现有的多晶硅铸锭方法生产效率低的技术问题。该高效多晶硅铸锭方法,包括投料、抽空检漏、加热、熔化、长晶、退火冷却;其中加热步骤中,先以真空模式与进气控制升至200mbar气体模式交替的方式,将加热功率由0Kw逐步升至140Kw,再将功率保持在140Kw,利用进气控制使炉室内压力逐步升至600mbar,最后利用出气控制将炉室内压力保持在600mbar,温度升至1520℃以上;之后进行熔化、长晶、快速退火、冷却。本发明应用于改进多晶硅铸锭的生产效率。
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