一种预热装置及装置平移系统

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专利状态

一种预热装置及装置平移系统

有效

专利申请进度

申请

2012-08-28

申请公布

2013-01-09

授权

2015-08-12

预估到期

2032-08-28

专利基础信息

申请号	CN201210311283.2	申请日	2012-08-28
申请公布号	CN102864491A	申请公布日	2013-01-09
授权公布号	CN102864491B	授权公告日	2015-08-12
分类号	C30B13/20
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2015-08-12

授权

状态信息

授权
2013-02-20

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):C30B 13/20申请日:20120828
2013-01-09

公布

状态信息

公开

摘要

本发明公开了一种预热装置及装置平移系统，用于区域熔化多晶硅棒时，预热多晶硅棒，以解决现有技术中区域熔化大直径多晶硅棒预热时间长的问题。本发明提供的预热装置具有能在电流磁场作用下产生感应电流并发热的壳体，壳体内部具有能将多晶硅棒预热部分不接触环绕，且与所述多晶硅棒预热部分形状相似的通孔。通过本发明能够将多晶硅棒预热部分环绕加热，增加多晶硅棒的受热面积，节省了预热时间。

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