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专利状态

一种碳化硅生产设备

有效

专利申请进度

申请

2019-10-23

授权

2020-09-22

预估到期

2029-10-23

专利基础信息

申请号	CN201921791855.5	申请日	2019-10-23
授权公布号	CN211545965U	授权公告日	2020-09-22
分类号	C01B32/956
分类	无机化学;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2020-09-22

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域，公开了一种碳化硅生产设备，包括：炉体，炉体内设有用于放置坩埚的容置空间；套设于炉体外周侧的加热线圈；与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中心轴线的延伸方向动作的驱动装置。该碳化硅生产设备中，加热线圈在驱动装置的驱动下可以在炉体外周侧上下移动，并对炉体进行加热，使炉体内的碳化硅在长晶过程中在竖直方向形成更好的温度梯度，有利于提高成晶率，提高晶体品质。

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