一种双向平动机构及区熔单晶炉

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专利状态

一种双向平动机构及区熔单晶炉

有效

专利申请进度

申请

2012-09-14

申请公布

2013-01-30

授权

2015-04-08

预估到期

2032-09-14

专利基础信息

申请号	CN201210342795.5	申请日	2012-09-14
申请公布号	CN102899716A	申请公布日	2013-01-30
授权公布号	CN102899716B	授权公告日	2015-04-08
分类号	C30B13/26;C30B13/00;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2015-04-08

授权

状态信息

授权
2013-03-13

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):C30B 13/26申请日:20120914
2013-01-30

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及区熔单晶硅技术领域，公开了一种双向平动机构，包括平动下板，固定于区熔单晶炉的上炉室；平动中板，与平动下板滑动装配；平动上板，与区熔单晶炉的上传动固定连接，且与平动中板滑动装配；驱动平动中板滑动的第一驱动装置，与平动下板相对固定；驱动平动上板滑动的第二驱动装置，与平动中板相对固定；平动中板相对平动下板的滑动方向与平动上板相对平动中板的滑动方向相互交叉；平动上板、平动中板和平动下板均具有贯穿其厚度方向的通孔。具有上述双向平动机构的区熔单晶炉，其上传动的上轴可以实现多个方向上的运动且可以自动对中，提高拉制单晶硅的成品率和气相掺杂的端面均匀性，保证晶体的高品质。本发明还提供了一种区熔单晶炉。

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