一种碳化硅炉抽气管路进出底座平台机构

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专利状态

一种碳化硅炉抽气管路进出底座平台机构

有效

专利申请进度

申请

2022-04-01

授权

2022-10-14

预估到期

2032-04-01

专利基础信息

申请号	CN202220767663.6	申请日	2022-04-01
授权公布号	CN217585304U	授权公告日	2022-10-14
分类号	F27B17/00;F27D7/06;C30B29/36
分类	炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
申请人名称	北京京运通科技股份有限公司
申请人地址	北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2022-10-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及半导体制作技术领域，公开了一种碳化硅炉抽气管路进出底座平台机构，该碳化硅炉抽气管路进出底座平台机构位于碳化硅炉与抽真空泵之间，包括设备底座、管路容纳机构以及波纹管；设备底座上具有沿第一方向延伸的安装通孔，第一方向为碳化硅炉与抽真空泵的排列方向；管路容纳机构贯穿安装通孔且与设备底座固定连接，管路容纳机构具有沿第一方向延伸的容纳通孔；波纹管在容纳通孔内沿第一方向延伸，波纹管临近抽真空泵的一端固定于管路容纳机构上，波纹管具有压缩状态和拉伸状态，波纹管处于压缩状态时波纹管的外侧壁与容纳通孔的内侧壁之间具有第一间隙。该机构能降低管路磨损故障导致的泄漏风险，同时布置美观且增加管路运动稳定性。

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