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专利状态
一种支撑组件及碳化硅炉
有效
专利申请进度
申请
2019-07-26
授权
2020-06-16
预估到期
2029-07-26
专利基础信息
申请号 CN201921193512.9 申请日 2019-07-26
授权公布号 CN210765581U 授权公告日 2020-06-16
分类号 C30B23/00;C30B29/36
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 北京京运通科技股份有限公司
申请人地址 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号
专利法律状态
  • 2020-06-16
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供了一种支撑组件及碳化硅炉,其中,支撑组件应用于碳化硅炉中,碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架,且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中,通过设置用于支撑盖板的至少两个支架,将盖板对石英管的压力部分或传递到至少两个支架上,以减轻盖板对石英管的压力,从而减轻石英管的承重,防止石英管因承受的压力过重而损坏。