花篮硅片用活动式精确分片装置

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专利状态

花篮硅片用活动式精确分片装置

有效

专利申请进度

申请

2021-06-18

授权

2021-11-05

预估到期

2031-06-18

专利基础信息

申请号	CN202121371824.1	申请日	2021-06-18
授权公布号	CN214624991U	授权公告日	2021-11-05
分类号	H01L21/67;H01L21/677
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2021-11-05

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及硅片分片设备技术领域，尤其是涉及一种活动式实验精确分片装置，包括载板以及安装在载板顶面的两个固定夹，两个所述固定夹之间安装有固定支架以及实验花篮和分片花篮，所述实验花篮位于分片花篮左侧，所述固定支架位于分片花篮右侧，且所述实验花篮的卡槽槽口和分片花篮的卡槽槽口相对布置，所述固定支架上活动安装有用于推动硅片的若干推进杆，通过在载板和载板顶面的固定夹，能够对实验花篮和分片花篮起到定位固定的作用，通过固定支架和推进杆的布置，实验人员通过推动推进杆推出并转移硅片，实现了半自动化操作，从而提高了分片效率，且在分片过程中杜绝了手指印、划伤、碎片、隐裂等不良，提高了实验准确率。

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