一种减少扩散炉管堵塞的装置

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专利状态

一种减少扩散炉管堵塞的装置

有效

专利申请进度

申请

2021-07-02

授权

2021-12-03

预估到期

2031-07-02

专利基础信息

申请号	CN202121509065.0	申请日	2021-07-02
授权公布号	CN215002991U	授权公告日	2021-12-03
分类号	F27D25/00
分类	炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
申请人名称	常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址	江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号

专利法律状态

2021-12-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及扩散炉用尾气处理设备技术领域，尤其是涉及一种减少扩散炉管堵塞的装置，包括真空泵、高精过滤器、废液收集瓶、炉管以及用于清理偏磷酸的清理系统，所述真空泵、高精过滤器、废液收集瓶、炉管的出气接口依次通过管道连通，所述清理系统通过管路分别连通高精过滤器和废液收集瓶之间的管路以及炉管的出气接口，通过清理系统的安装，可对炉管以及管路内的偏磷酸进行清理，从而避免偏磷酸在尾排系统管路中结晶或造成堵塞，提高真空泵等其它元件的使用寿命。

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